隨著電力電子的發展，供配電系統設備越來越復雜，電壓暫降、電壓短時中斷、電壓瞬變、諧波等問題日益突出，對具有精密制造特征的半導體制造業影響尤為突出。

半導體的生產工藝流程復雜精密、自動化程度高，許多關鍵設備對供電的穩定和質量都異常敏感。一旦發生斷電或電壓驟降等供電問題，都可能導致生產中斷，大量半成品報廢，高精密生產設備甚至可能出現損傷，直接或間接地造成經濟損失。

供配電系統的穩定是保障半導體生產工廠平穩運行、提高效率與良品率的關鍵，也是體現現代化工廠的生產水平因素之一。

如何提高半導體制造企業的供配電系統穩定可靠性？

CET供配電系統異常信息捕捉及故障診斷分析解決方案：利用高精度采樣對供配電異常信息進行捕捉，并通過IEC 61850協議的GOOSE技術實現多電壓等級分布式錄波，系統級地對供配電異常信息進行診斷分析，輸出診斷報告，對供配電系統隱患進行預警提示。記錄穩態、暫態、瞬態擾動全部信息，具有SOE記錄分析、穩態數據趨勢圖分析、暫降容忍度曲線及暫降事件統計分析、擾動錄波分析等，實現故障預警、故障分析、故障診斷、電能質量綜合評估等功能。

一、敏銳捕捉，全面預警

iMeter系列供配電異常信息捕捉及故障診斷分析裝置分散安裝在半導體用戶供配電網的進線及關鍵節點，結合DiagSys異常信息捕捉及故障分析軟件，對20μs級的用電異常信息進行捕捉與報警。

裝置以1024點/周波高采樣率精確呈現供配電異常擾動發生時波形，并生成一對一診斷分析報告，提前洞悉供配電系統用電健康狀態，可幫助企業預知風險，最大程度預警事故發生。

二、SEMI F47容忍度分析及報警

半導體行業的電壓暫降問題已是國際公認的最嚴重電能質量事件，也是各大半導體制造企業最關注的一類供電質量事件。

針對半導體行業生產，SEMI F47-0706《半導體制程設備電壓暫降抗擾度規范》對半導體設備能承受的電壓暫降等級的通用免疫能力做出了定義，若設備滿足SEMI F47電壓暫降免疫標準，將避免90%以上的電壓暫降影響，為生產企業避免巨額經濟損失。目前，標準已廣泛應用于半導體行業，幾乎全球所有晶圓廠都需要按照該標準構建其穩定可靠的供配電系統。

iMeter系列裝置及DiagSys分析系統支持SEMI F47容忍度分析及報警功能，可在暫降擾動發生后快速做出暫態影響評估，對超出容忍度范圍的電壓暫降事件進行報警，DiagSys分析系統具有供配電異常信息捕捉能力，不再是單純集成末端數據，而是供配電異常信息，并聯動FMCS系統進行相關廠務工作的聯動，最大程度減少暫降損失。

三、擾動源定位功能

擾動源定位是電能質量分析的核心工作之一，iMeter系列裝置結合DiagSys分析軟件可對含有多個基本事件和擾動事件源的復雜擾動事件進行定位，有利于全面解釋復雜擾動的完整過程和綜合信息，對分析事件后果、追究事件責任以及治理電能質量污染具有重要的指導價值。

四、分布式聯合錄波與系統級的診斷分析

采用IEC61850通訊協議的GOOSE技術，可實現分布式聯合錄波分析，不受電壓等級和地理位置的限制，其中一臺捕捉到異常信息，多臺同時觸發錄波，為決策提供更多參考。

五、全廠電能質量評估

CET供配電系統異常信息捕捉及故障診斷分析解決方案具有更多價值體驗——CET全廠電能質量評估。

業內常用的評估方法大多針對單監測點進行穩態評估，一方面，難以從全局視角了解系統整體電能質量穩態運行狀況，另外，對于電壓暫降、中斷等暫態問題，無法有效評估其對敏感設備運行的影響程度。

CET全廠電能質量評估方法，可評估全廠所有監測點指定周期內的的電能質量穩態及暫態運行狀況。不僅能從時間、空間、指標等多個維度系統評估全廠的電能質量穩態超限情況，還能評估電壓暫降、中斷事件對設備運行影響的嚴重程度，可以定量分析整個廠區的電能質量狀況，為電能質量問題排查、治理提供直接數據依據。

目前，CET的供配電系統異常信息捕捉及故障診斷分析解決方案已在長江存儲、青島芯恩、北京集電等企業得到廣泛應用。